Creative Electronic Technology

創造科學提供各式靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)的新品及維修服務。我們專注於半導體機台內的靜電吸盤，舉凡6”、8”、12”尺寸的聚醯亞胺膜(Polyimide,PI)、陽極處理(anodized)及陶瓷噴塗(Ceramic,Thermal spray)材質皆有生產製造及翻修。

IonPad是以特殊的樹脂為基材，利用IonPad與對象物的接觸面，產生化學與物理間的結合，進而吸附住對象物。
利用彼此的介面相互作用，吸附對象物時不需要通電、吸真空等等外部介入。

即使在潔淨的真空設備中，抽真空或是大氣開放的壓力變化時，會造成particle揚塵。若使用Particle collector能夠防止產品再次被吸附到微塵、進而提高良率。