近年來隨著數位化的發展，半導體已成為大家生活中的一部分，創造科學所開發的靜電吸盤不只在半導體業界，其他如薄膜、蝕刻、離子植入、wafer檢查等等，屬於半導體『前端製程』的領域，都有我們努力的存在。為了回應客戶各式各樣的需求，半導體漸漸往細微化、薄型化發展，敝司的靜電吸盤也因應時代需求持續開發、各式設計、量產、客製化、翻修，提供客戶多方面的服務。
實現高密度、高附著力、低particle的
Creative Technology 的coating塗層技術不僅在日本國內廣泛應用，在海外也有非常多的客戶使用。我們提供具有耐plasma電漿的高密度、高附著力、低顆粒(particle)的塗層，以保護半導體製造設備的腔體(chamber)中零部件免受plasma電漿和反應性氣體等等的攻擊影響。我們不僅提供針對零部件形狀、製程環境和使用目的提供最佳塗層方法和膜種類的建議，並與客戶共同提出解決問題的獨特建議，以實現零部件延長life time及cost down成本降低。
乾式蝕刻設備的製程腔體(chamber)內壁會有一些deposition堆積（反應生成物）。這些推積的deposition會影響乾式蝕刻製程的良率，因此必須定期的進行保養清理。
腔體(chamber)內的parts零件常常受到plasma、反應性氣體的侵蝕而損耗及劣化，若僅靠plasma cleaning清理保養的話，無法維持製程的穩定。為了解決此狀況，定期的進行parts coating，將腔體(chamber)內的parts零件再生翻修，以維持製程加工的穩定性。
我們提供將腔體chamber內已明顯損耗及劣化的parts零件拆出，進行coating剝離並再recoating的一連貫服務。
我們提供從一般大氣壓plasma溶射(APS)到真空成膜的高密度coating，各式各樣的coating技術及對應各式成膜種類。不只Al2O3(氧化鋁)、Y2O3(氧化釔)，我們也提供氟化膜的coating塗層服務。
